面内各向异性软磁薄膜的磁控溅射制备与表征

来源:本站2019-09-09107 次

面内各向异性软磁薄膜的磁控溅射制备与表征

摘要具有面内各向异性的软磁薄膜在集成电路元器件中得到广泛的应用。 本文利用高真空磁控溅射平台制作了Co/FeMn、Ta/FeCo、FeCoDy等样品,通过VSM对磁滞回线进行了,对交换偏置效应进行验证。 24539通过研究,在实验中我们发现:(1)对于Co/FeMn薄膜体系,其室温磁滞回线易轴方正、难轴倾斜,即具有较好的软磁性能;但易磁化轴没有发生偏移,即没有生成交换偏置。 低气压可以增强离子溅射能量,有效地提高Co/FeMn体系的各向异性以及减小矫顽力。

(2)适当厚度的缓冲层Ta可以有效缓解衬底与薄膜之间的晶格失配与热失配,提高FeCo的薄膜质量,随着缓冲层厚度增加,矫顽力先增大后减小再增大,各向异性场先增加后减小。 当镀Ta时间为5min时,FeCo薄膜的软磁性能最优,此时Hce=25Oe,Hch=9Oe,HK=。 (3)通过调节Dy的含量可以有效控制FeCo薄膜的面内单轴各向异性和调整FeCo薄膜的矫顽力。 FeCo的各向异性和矫顽力大小不随Dy含量单调变化,而是在某一处出现极大值。

关键词面内各向异性软磁磁控溅射缓冲层稀土掺杂毕业设计说明书()摘要TitlePreparationandcharacterizationofsoftmagneticthinfilmswithin-planeanisotropybymagnetronsputteringAbstractAthinfilmwithexcel,IhavepreparedaseriesoffilmsofCo/FeMn,Ta/FeCo,andFeCoDybyusinghighvacuummagnetronsputteringsystem,studiedthemagnetichysteresisloopbyVSM,,severalphenomenahavebeenfound:源`自*六)维[论*文网(1)ForCo/FeMnfilmsystem,thehysteresisloopsatroomtemperatureshowgoodsoftmagneticpropertiesaccordingtotheregularityoftheireasyaxesandinclineofthehardaxes;howevertheres,andiseffectiveinimprovingtheanisotropyofCo/FeMnsystemandreducingthecoercivity.(2)AppropriatethicknessofTabufferlayercaneffectivelyrelievelatticemismatchandthermalmismatchbetweenthesubstrateandthefilm,,thecoercivitydecreasesbetweentwoperiodsofincreasing,,thesoftmagnetismofFeCofilmbehavestheoptimalperformance:Hce=25Oe,Hch=9Oe,HK=(3)ByadjustingthecontentofDy,thein-planeuniaxialanisotropyofFeCofilmscan:In-planeanisotropy;Softmagnetic;Magnetronsputtering;Bufferlayer目录1绪论引文软磁金属薄膜单层金属薄膜多层复合薄膜非磁元素掺杂软磁薄膜的重要参数选题目的以及研究内容52实验的制备和研究方法前期工作实验样品的制备与设计7源`自*六)维[论*文网磁控溅射技术磁控溅射原理磁控溅射设备介绍振动样品磁强计(VSM)11面内各向异性软磁薄膜的磁控溅射制备与表征:。

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